挥发性有机化合物（VOC）废气处理的控制技术包括直燃焚化法、触媒焚化法、活性碳吸附法、吸收法、冷凝法、生物法等。根据国内外控制设备资料中显示，活性碳吸附适用范围为200∼10,000ppm，且进气浓度需在1,000ppm 以上时控制设备方足具高处理效率；冷凝法在5,000ppm 以上方有良好的去除效率且一般常应用在溶剂回收上，至于吸收法的适用范围虽为250-10,000ppm，但只针对少部分水溶性较佳的挥发性有机物。当挥发性有机化合物浓度较低时而具高处理效率者，适合使用直燃焚化或触媒焚化，这就是蓄热式热力焚烧炉（RTO）和蓄热式催化焚烧炉（RCO）。

    一、蓄热式热力焚烧炉（RTO）

    排放自生产工艺中含VOC的废气进入双槽RTO，三向切换风阀(POPPET VALVE)将此废气导入RTO的蓄热槽(Energy Recovery Chamber)而预热此废气，含污染的废气被蜂窝陶瓷蓄热体渐渐地加热后进入燃烧室(Combustion Chamber)，VOC在燃烧室被氧化而放出热能于**蓄热槽中之蜂窝陶瓷蓄热体，用以减少辅助燃料的消耗。蜂窝陶瓷蓄热体被加热，燃烧氧化后的干净气体以CO2及H2O 排放至大气。

    二、蓄热式催化焚烧炉（RCO）

    排放自生产工艺中含VOC的废气进入双槽RCO，三向切换风阀(POPPET VALVE)将此废气导入RCO的蓄热槽(Energy Recovery Chamber)而预热此废气，含污染的废气被蜂窝陶瓷蓄热体渐渐地加热后进入催化床(Catalyst Bed)，VOC在经催化剂分解被氧化而放出热能于**蓄热槽中之蜂窝陶瓷蓄热体，用以减少辅助燃料的消耗。蜂窝陶瓷蓄热体被加热，燃烧氧化后的干净气体以CO2及H2O 排放至大气。